用于測量半導體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。 主體采用了耐強酸、強堿PFA樹脂。

以微小范圍內(nèi)的流量控制為目的而開發(fā)的流量控制器。 具備流量調(diào)整、瞬時流量顯示、外部輸出等多種功能。

從外部流量計接收當前流量信息并自動控制設(shè)定流量。 非常適合控制半導體清洗設(shè)備中化學品和純水的流速。

利用了在障礙物的后方產(chǎn)生的卡爾曼渦流的發(fā)生周期，根據(jù)流量變化的流量計。簡單的結(jié)構(gòu)，耐久性高，價格低。

通過 PFA 葉輪的旋轉(zhuǎn)來測量流量。價格合理，測量原理簡單。是出貨記錄第一的機型。

全部為PFA材質(zhì)的面積式流量計?？蓪?yīng)強酸強堿且流動可見。