用于測量半導體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。 主體采用了耐強酸、強堿PFA樹脂。
以微小范圍內(nèi)的流量控制為目的而開發(fā)的流量控制器。 具備流量調(diào)整、瞬時流量顯示、外部輸出等多種功能。
從外部流量計接收當前流量信息并自動控制設(shè)定流量。 非常適合控制半導體清洗設(shè)備中化學品和純水的流速。
利用了在障礙物的后方產(chǎn)生的卡爾曼渦流的發(fā)生周期,根據(jù)流量變化的流量計。簡單的結(jié)構(gòu),耐久性高,價格低。
通過 PFA 葉輪的旋轉(zhuǎn)來測量流量。價格合理,測量原理簡單。是出貨記錄第一的機型。
全部為PFA材質(zhì)的面積式流量計??蓪?yīng)強酸強堿且流動可見。
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